適用於高溫的質量流量控制器 SEC-2000 系列

日本HORIBA高溫應用的質量流量控制器

概要

可以在高溫環境中使用的SEC-8000/2000系列，適用於超潔淨的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導體、化合物半導體制程之外也有各種各樣的用途。

特徵

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統LSC系列中標準的搭載模塊

產品相關圖及其它

適用於高溫的質量流量控制器 SEC-2000 系列

日本HORIBA高溫應用的質量流量控制器

概要

可以在高溫環境中使用的SEC-8000/2000系列，適用於超潔淨的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導體、化合物半導體制程之外也有各種各樣的用途。

特徵

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統LSC系列中標準的搭載模塊

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適用於高溫的質量流量控制器 SEC-2000 系列

概要

可以在高溫環境中使用的SEC-8000/2000系列，適用於超潔淨的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導體、化合物半導體制程之外也有各種各樣的用途。

特徵

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統LSC系列中標準的搭載模塊

適用於高溫的質量流量控制器 SEC-2000 系列

概要

可以在高溫環境中使用的SEC-8000/2000系列，適用於超潔淨的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導體、化合物半導體制程之外也有各種各樣的用途。

特徵

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統LSC系列中標準的搭載模塊